產(chǎn)品分類(lèi)
SuperViewW1光學(xué)輪廓儀品牌具有測(cè)量精度高、操作便捷、功能齊全、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn),測(cè)量單個(gè)精細(xì)器件的過(guò)程用時(shí)2分鐘以內(nèi),確保了高款率檢測(cè)。白光干涉儀的特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測(cè)量。
SuperViewW1光學(xué)粗糙度測(cè)量?jī)x在材料科學(xué)研究,新型材料制備等方面有著廣泛應(yīng)用,比如測(cè)量材料基體和鍍膜后表面形貌和粗糙度,測(cè)量材料的磨損性能(通過(guò)白光干涉儀測(cè)量磨損輪廓和粗糙度)。在MEMS測(cè)試項(xiàng)目中,表面特性(粗糙度、臺(tái)階高)是一個(gè)非常重要的項(xiàng)目,目前主要是采用非接觸式的光學(xué)3D輪廓儀(白光干涉儀)進(jìn)行測(cè)量。
中圖儀器國(guó)產(chǎn)品牌光學(xué)輪廓儀適用于各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、孔隙間隙、彎曲變形情況、腐蝕情況、表面缺陷、臺(tái)階高度、波紋度、磨損情況、面形輪廓、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。分辨率0.1μm,重復(fù)性0.1%,應(yīng)用領(lǐng)域廣泛,操作簡(jiǎn)便,可自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)。
SuperViewW1三維光學(xué)輪廓粗糙度儀是目前三維形貌測(cè)量領(lǐng)域高精度的檢測(cè)儀器之一。在同等放大倍率下,測(cè)量精度和重復(fù)性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。對(duì)高深寬比的溝槽結(jié)構(gòu),可以得到理想的測(cè)量結(jié)果。
SuperViewW1三維白光光學(xué)輪廓測(cè)量?jī)x以白光干涉技術(shù)為原理,能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率,測(cè)試各類(lèi)表面并自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù),廣泛應(yīng)用于光學(xué),半導(dǎo)體,材料,精密機(jī)械等等領(lǐng)域。是一款非接觸測(cè)量樣品表面形貌的光學(xué)測(cè)量?jī)x器。
SuperViewW1白光光學(xué)輪廓度測(cè)量?jī)x對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。除主要用于測(cè)量表面形貌或測(cè)量表面輪廓外,具有的測(cè)量晶圓翹曲度功能,非常適合晶圓,太陽(yáng)能電池和玻璃面板的翹曲度測(cè)量,應(yīng)變測(cè)量以及表面形貌測(cè)量。
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