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技術文章

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共聚焦顯微鏡：成像原理、功能、分辨率與優勢解析

共聚焦顯微鏡

中圖儀器VT6000系列共聚焦顯微鏡擅長微納級粗糙輪廓的檢測，所展現的放大圖像細節要高于常規的光學顯微鏡。它是以共聚焦技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數，從而實現器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。

更新時間：2024-05-12

產品型號：VT6100

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